公司简介

南京华易泰电子科技有限公司（展位号：4A09）2020年2月成立于南京市江北新区智能制造产业园，致力于显示面板、半导体、新能源行业的工艺设备国产化。华易泰的主营产品分为AMHS（自动化物料搬运系统）、WET（湿制程）设备、CCSS（中央化学品供给系统）三大类，坚持百分百自主研发、设计、制造，是一家具备高新技术企业资质及多项行业认证资格的高精密设备研发制造企业。

推荐产品--AMHS产品系列

Stocker洁净型堆垛机

② 自主研发新型Fork专利技术，自动校对卡匣位置；

③ BCR+磁栅尺机械结构，精确确认Crane位置信息；

④ Arm采用双驱动+非动力传动方式，空间小、精度高；

⑤ CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高。

OHT空中走形式无人搬运车

② 物料抓取防晃动设计，准确定位并抓取物料，稳定性高；

③ CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高；

④ BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信；

⑤ 采用安全触边传感器，缓冲器，镭射传感器等防护措施，调整穿梭速度，防止碰撞。

推荐产品--WET产品系列

Cleaner清洗机

② 水平传送、倾斜传送、90°转角传送等多种传送方式可选；

③ 搭配AP Plasma/EUV，素玻璃接触角<5°，进行有机物清洁；

④ 厂务纯水直供和设备循环供给相结合，纯水用量低、效率高；

⑤ 使用毛刷、二流体喷淋、超声波清洗等清洗方式，实现＜3μm的颗粒去除。

Etcher刻蚀机

② 多角度摇摆喷淋方式，蚀刻均匀性高、药液利用率高；

③ 搭配EMS药液分析系统，实时在线精准把控药液成分；

④ 触摸屏+PLC控制安全保护，具有液位保护、漏液漏电保护等；

⑤ 稳定高速的药液置换供给系统，实现不停机药液供给的置换，产能高、药液利用率高。

推荐产品--CCSS产品系列

CDS 化学品供给系统

② Drum区域配置HEPA，保证在更换酸桶时维持正压；

③ Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染；

④ 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应；

⑤ 主部件N+1配置，稳定性好、效率高。

SDS研磨液供给系统

② 自备循环扰流功能，避免研磨液结晶和沉淀；

③ Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染；

④ 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应；

⑤ 主部件N+1配置，稳定性好、效率高。