DIC 2024展商丨南京华易泰，推动显示面板工艺设备本土化

2024-02-20 11:39:00

公司简介

COMPANY

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一南京华易泰电子科技有限公司一

展位号：7D62

南京华易泰电子科技有限公司于2020年2月成立于南京市江北新区智能制造产业园，致力于显示面板、半导体、新能源行业的工艺设备国产化。华易泰的主营产品分为AMHS（自动化物料搬运系统）、WET（湿制程）设备、CCSS（高纯介质供应系统）三大类，坚持百分百自主研发、设计、制造，是一家具备高新技术企业资质及多项行业认证资格的高精密设备研发制造企业，基于客户需求提供具体的系统解决方案及优质的售后服务。成立至今，已与天马集团、上海格科、绵阳惠科、昆山国显等多家国内外知名企业建立合作关系。

推荐产品

PRODUCT

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Stocker（洁净型堆垛机）

主要应用于TFT-LCD/OLED/AMOLED行业，实现载有玻璃基板的卡匣的自动化搬运与存储，可对接OHCV、MGV、AGV等设备。

① 四驱动方式搬送，搬送能力更强，更稳定可靠；

② 自主研发新型Fork专利技术，自动校对卡匣位置；

③ BCR+磁栅尺机械结构，精确确认Crane位置信息；

④ Arm采用双驱动+非动力传动方式，空间小、精度高；

⑤ CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高。

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OHT（空中走形式无人搬运车）

全称为Overhead Hoist Transport，主要应用于半导体6-12英寸晶圆厂、封测厂，用于空中自动搬送晶圆载具（FOUP/SMIF POD/Cassette/Magazine等）。

① 自主研发单驱动多层取料专利技术，空间小、精度高；

② 物料抓取防晃动设计，准确定位并抓取物料，稳定性高；

③ CPS非接触式电源供电，效率高、寿命长、灵活度高；

④ BCR实时确认Shuttle位置信息，实现与CIM的实时通信；

⑤ 采用安全触边传感器，缓冲器，镭射传感器等防护措施，调整穿梭速度，防止碰撞。

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Cleaner（清洗机）

主要应用于显示面板生产工厂，达到去除玻璃基板表面的异物和颗粒的目的。

① 自主研发双刀缝新型风刀，无水残、干燥效果好；

② 水平传送、倾斜传送、90°转角传送等多种传送方式可选；

③ 搭配AP Plasma/EUV，素玻璃接触角<5°，进行有机物清洁；

④ 厂务纯水直供和设备循环供给相结合，纯水用量低、效率高；

⑤ 使用毛刷、二流体喷淋、超声波清洗等清洗方式，实现＜3μm的颗粒去除。

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Etcher（刻蚀机）

主要应用于显示面板生产工厂，利用化学药液将基板上面的金属薄膜按照特定的图案去除。

① 稳定可控的温度控制系统，定向管控工艺温度；

② 多角度摇摆喷淋方式，蚀刻均匀性高、药液利用率高；

③ 搭配EMS药液分析系统，实时在线精准把控药液成分；

④ 触摸屏+PLC控制安全保护，具有液位保护、漏液漏电保护等；

⑤ 稳定高速的药液置换供给系统，实现不停机药液供给的置换，产能高、药液利用率高。

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CDS（化学品供给系统）

全称为Chemical Dispense System，主要用于显示面板及芯片加工工厂，供给酸、碱、有机等化学品至相关设备。

① 双桶设计，自动切换，Drum自循环预过滤功能；

② Drum区域配置HEPA，保证在更换酸桶时维持正压；

③ Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染；

④ 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应；

⑤ 主部件N+1配置，稳定性好、效率高。

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SDS（研磨液供给系统）

全称为Slurry Dispense System，主要用于显示面板及芯片加工工厂，供给高纯度化学品以研磨面板或芯片，并集中回收化学品液体。

① 双桶设计，自动切换，Drum自循环预过滤功能；

② 自备循环扰流功能，避免研磨液结晶和沉淀；

③ Drum及Tank氮封设计，防止空气接触至化学品造成污染；

④ 配置手动拨钮开关，PLC故障时可手动强制供应；

⑤ 主部件N+1配置，稳定性好、效率高。

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